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            碳化硅
            碳化硅部件

            碳化硅部件簡介

            在材料產品中,CVD-SiC是頗具成長性的產品,該產品可作為半導體生產設備的治具及部件。碳化硅是硅和碳1:1結合構成的一種化合物,其硬度僅次于鉆石和碳化硼。Ferrotec應用含有硅和碳的氣體即CVD工藝法來進行制造。以硅片為例,采用CVD法將碳化硅涂覆在加工成圓盤狀的石墨基材表面,切削外緣后,通過高溫氧化除去石墨基材,再經過數道后續加工,硅片就完成了。在能源等高端產業領域,碳化硅這種高純度材料受到越來越多的關注。
            聯系電話: 0571-88995910
            耐熱性
            耐熱性
            化學穩定性
            化學穩定性
            抗氧化性
            抗氧化性
            碳化硅部件的特性
            Ferrotec SiC部件產品具有較高的抗氧化性、化學穩定性和耐熱性,具備在2000度高溫時也可保持穩定的優良特性。它們被廣泛地應用于半導體材料的制造過程中需要的晶圓舟、管和代替硅片的仿真晶圓,也廣泛運用于高溫時使用的夾具產品。在半導體生產設備、汽車領域、能源領域等領域有廣泛應用。
            應用場景
            • 半導體生產設備
              半導體生產設備
            • 汽車領域
              汽車領域
            • 能源領域
              能源領域
            半導體生產設備
            汽車領域
            能源領域
            半導體生產設備
            半導體生產設備
            汽車領域
            汽車領域
            能源領域
            能源領域
            Matrix diagram of applications in various fields
            各領域的應用之矩陣圖
            該產品的生產基地
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